Bruker
NPFLEX
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 이미지분석장비 > 달리 분류되지 않는 이미지분석장비
2019-08-09
240,539,320원
기관의뢰
고정형
시간별
86,200원
웨이퍼렌즈 성형용 마스터스탬핑 금형, UV성형용 금형, 렌즈의 미세표면형상 및 조도를 분석하는 장비
- 측정방법 : 간섭계(Interferometer)방식을 이용한 측정
- 측정항목 : 미세표면형상 측정, 미세표면조도 측정
○ 측정범위 및 정밀도
- Camera type : Color
- Camera resolution : 1,350 × 1,000 pixels 이상
- Available zoom lens(FOV lens) 배율 : 0.5 or 0.55×, 1×, 2×
- Motorized XY stage range : 200mm 이상
- Motorized Z axis range : 100mm 이상
- Motorized Tip/Tilt Stage range : ±4 deg. 이상
- Scan speed : 45㎛/s 이상
- Vertical resolution : 0.1nm 이하
- Step Height Accuracy : 0.8% 이하
- Step Height Repeatability : 0.12% 이하
- RMS Repeatability : 0.005nm 이하
○ 측정 소프트웨어
○ Motorized turret 1ea
○ Objective Lens 4ea (배율 : 5 or 5.5×, 10×, 20×, 50×)
○ Joystick controller 1ea
○ 방진테이블 1ea
○ 장비 운영 PC 및 모니터 1set