Coatema
NI 19
11년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2020-09-09
591,585,640원
기관의뢰 직접사용 임대가능
고정형
시간별
90,000원
- 개발된 원통금형을 이용하여 연속적인 나노/마이크로 패턴의 성형성 및 생산성을 평가하는 장비
- 향후 나노/마이크로패턴의 시제품 생산을 위한 테스트 배드(Test bed) 로 활용
1. Nano Imprint System
ㅇ Substrate width : 300 mm
ㅇ Working width : 300 mm
ㅇ Roller width : 350 mm
ㅇ Machine speed : 0.1 - 10 m/min
ㅇ Winding diameter : 250 mm
ㅇ Tension : 10 - 200 N
2. Winding unit
ㅇ Coil inside diameter : 76 mm ,
ㅇ Coil outside diameter : 250 mm
ㅇ Tension measuring device : d= 80 mm
ㅇ Guiding roller : d = 80 mm
3. Coating station
ㅇ Slot die application unit : 8 - 12 o´clock
ㅇ Counter roller : 100 mm diameter
ㅇ Precision of the slot die lips +/-4 μm
4. Imprint Unit
ㅇ Steel roller : d = 177,21 mm + the thickness of customers sleeve
ㅇ Pressure : 1,8 kN/working width