미르가열시스템
MHS-12525-01
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 전기/소결로
2020-10-15
450,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
200,000원
BCl3 가스와 NH3 가스를 고온에서 반응 시켜 Boron nitride를 합성함과 동시에 섬유, 프리폼, 기판 등의 다양한 형상 및 크기를 갖는 부품 / 소재에 코팅 및 증착을 시킬 수 있는 장비
1) Working temperature : 2000oC(max. 2300oC)
2) Working zone : 500(d) x 500(h) mm
3) 사용가스 : BCl3, NH3, H2, Ar, N2 등