KLA Tencor
CS10
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 광학검사기
2018-12-27
99,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
90,000원
○ 기판 표면상태 측정에 이용되는 장비로 반도체 소자 공정상의 최대 불량요인인 Particle 발생원인 및 이로 인한 불량 추이들을 Monitoring 하기 위해 활용되며 불량요인 추적 및 분석에 활용되는 장비
○ 장비 Type : 파티클 검사 장비
○ Wafer size : 6inch
○ Wafer Thickness : 350~1,100㎛
○ Illumination Source : 25mW Laser, 405nm Wavelength
○ Performance Spec
- Defect Sensitivity : 0.08 ㎛ diameter PSL sphere equivalent >95% Capture rate
- Other Defect and Application : Particles, Scratches, Stains, Pits, and bumps
○ Application
- Opaque Substrates
- EPI Layer
- Transparent film coatings(SiC, GaN, Sapphire)