KRITHLEY(키슬리)
4200A-SCS
10년
주장비
분석
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비
2019-01-04
34,403,500원
원
본 장비는 Wafer 상태 및 디바이스 상태에서의 전기적 물성을 측정하는 고정밀급 반도체용 계측장비로써, 소자의 동작 전압, 동작 전류, 누설 전류, 브레이크 다운 전압, 전도도 및 저항 등 다양한 파라미터를 측정할 수 있음. 이는 다양한 소재의 기본적인 전기적 특성을 분석하기 위해 필요한 장비임.
1) 전압공급
. 범위 : ±200mV/ ±2V/ ±20V/ ±200V
. 분해능 : 5μV at 200mV range
. 정밀도 : 0.02%
2) 전압측정
. 범위 : ±200mV/ ±2V/ ±20V/ ±200V
. 분해능 : 1μV at 200mV range
. 정밀도 :0.012%
. 안정화 시간 : less then 100μs to 0.1%
. 입력 임피던스 : > 10 Gohm
3) 전류공급
. 범위 : ±1pA to ±100mA
. 분해능 : 50pA at 1μA range
4) 전류측정
. 범위 : ±1pA to ±100A
. 분해능 : 100aA at 1pA range