코썸사이언스
KOS-NV5nUVS
11년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2019-03-20
95,965,670원
원
본 장비는 대면적 (200nm X 200nm) 고효율 페로브스카이트 태양전지 서브 모듈을 monolithic 구조로 제조하기 위한 355nm 파장 UV레이저를 적용한 레이저 스크라이빙 장비로, 차후에 비전 시스템을 장착할 수 있는 설계구조로 제작된 장비이다.
Laser source with optics
- Pulsed type nano laser
- wavelength : 355nm, Average Power : 5W
- Gain Medium : ND -YVO4
Operation mode
- Scan Mode
- Scan field : 200nm X 200nm
Alignment (Camera 2ea)
- Off-Axis camera
Vacuum & Hood system