Ellipso Techology
Elli-SEU
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 광학검사기
2018-12-27
60,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
26,000원
1. 반도체 웨이퍼 기판위에 증착된 박막의 두께및 굴절율을 측정하기 위한 장비
2. 광학적인 방법으로 측정. Sub Å ~ 수 ㎛ 두께 범위의 단층 및 다층 박막의 두께, 굴절율을 측정하는 장비임.
3. 박막 증착 진행시 공정 이상 유무를 확인하는 용도로 사용된다
◦구성 : 메인바디, 소프트웨어, 컴퓨터
◦광원 : 할로겐램프
◦측정파장범위 :450nm~780nm
◦측정 막두께 범위 : 10nm~20um이하
◦측정 소요 시간 : 10초 이내
◦측정 Spot size :
◦측정 재현성 : ±0.5nm(@100nm)
◦반복성 : ±0.2nm(@100nm)
◦스테이지 : 200X200mm