울텍
ULTEC
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2018-12-27
445,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
105,000원
반도체 제조 공정 중 Wafer 표면의 무기물, 유기물, Particle, 금속이온 및 자연 산화막 등 각각의 오염 물질들을 효과적으로 제거하기 위해 여러가지 세정 용액을 혼합하여 세정하는 설비이다.
○ Wafer size : 150mm
○ Type : All Cassette Type, 25wafer/cst
○ CST transfer Robot
○ 자동세척 공정
Loader → BOE → QDR → SC-1 → HQDR → SC-2 → HQDR → F/R → IPA Dryer → Unloader