TYK
Ailesic-2000
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 퍼니스
2018-12-27
945,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
1,030,000원
고온어닐링기는 탄화규소(SiC) 전용장비로써, 최대 2,100도 열처리가 가능한 장비이다.
○ 핵심 성능: 최대가열온도 2,000℃, 분당 승온 속도 50℃ 이상
회당 처리가능 웨이퍼 수량 10매 이상
처리가능 웨이퍼 규격 : ~ 150mm (6inch)
○ Wafer size: ~150mm
○ Batch: 25 wafers/batch
○ Auto Wafer Loader
○ Wafer Load Ports: 2 Carrier stages (1 for Product, 1 for Reference& Dummy)
온도 측정: Thermocouple
○ Heating System: Metal Heater
Single zone temperature control
○ Cooling System: Cooling water circulation
○ Temperature Uniformity: 1900℃±5℃
○ Max process time: 1900℃ ≦30min
○ Temperature Repeatability: ≦±2℃
○ Productivity: 6.98 wafers/hr
○ Vacuum/Exhaust System
Vacuum Pump, Pressure sensor, Oxygen concentration meter