에코피아
HMS-5500
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션
2018-08-16
40,800,000원
원
본 장비는 p형 반도체의 전기전도도를 결정하는 주 전하인 홀(hole)의 특성을 상온으로부터 고온상태까지 측정하는 장비로서, 연구과제에서 개발하고 있는 중저온용 열전발전소자를 구성하는 n형, p형 열전반도체 중 p형 열전 반도체의 홀 전도 특성을 상온에서부터 소자가 동작하는 섭씨 500까지의 온도범위에서 분석 평가하는데 활용된다.
1. 구성
고온 홀 측정기기 본체, 자속 밀도 부분, 고온 조절 시스템, 프로그램 SW/CD, SCSB(Spring Clip Sample Board)를 위한 샘플 콘택트 시스템 등으로 구성.
2. 품목별 성능
a.고온 홀 측정기기 본체
- 6단계 전류 소스
- 입력 전류 범위: 1nA~20mA
- I-V 커브 추적 (가변 온도 가능)
- I-R 커브 추적 (80K에서 773K까지 측정가능)
b.자속 밀도 부분
- 자동으로 움직이고 소프트웨어로 조절 가능
- 0.55T 영구자석
- 가변 온도 조절 시스템과 연동
c. 고온 조절 시스템
- 소프트웨어로 조절 가능
- 실온에서 773K까지 온도 조절 가능
- 본체의 전원을 이용
- 온도 상승 속도: 5~10분
d. 프로그램 S/W CD
- 3D 측정
- Hall 계수, Carrier 농도, mobility, resistivity, conductivity 제공
e. SCSB(Spring Clip Sample Board)를 위한 샘플 콘택트 시스템
- 4점 probing type 샘플 보드
- 측정 샘플 사이즈: 5mm~20mm