인포비온
IA -700
9년
주장비
기타
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2019-03-25
88,500,000원
원
1. 칼코젠 열처리 장비는 플렉시블 기판상에 CZTS 계 박막을 형성하기 위한 장비로서, 고효율 플렉시블 CZTS 태양전지 소자 제작을 위하여 특화된 열처리 장비임.
2. 금속, 화합물 전구체 및 칼코젠 원소의 양방향 열처리 공정을 통한 CZTS 박막 제조 공정용 열처리 장비임.
1. RTP System
1) Process chamber
- Heating element : Halogen lamp ; housing system
2) Gas flow system & controller set
- Throttle valve를 이용한 pressure control by auto
3) Vacuum system
- Pump unit : Vacuum Pump (650 L/m 이상, Fomblin 오일 사용)
4) Sample Loading & Control system
- Guide Rod & Sustaining Zig
5) Frame structure & utilities
- Frame with monitor control panel system
- Frame Door & Cover / SS400 Frame / Caster & Adjuster
-Utility Mounting