JEOL
IB-09060CIS
11년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 반응/혼합/분쇄장비 > 시료절편기
2018-04-11
209,639,960원
고정형
건별
400,000원
동결이온 박막 제작기(Cryo Ion Slicer)는 TEM으로 시료를 관찰 할 경우 시편의 두께가 두꺼우면 TEM에서 좋은 Image를 얻기 힘들기 때문에 시편을 얇게 자르는데 이때 사용하는 Source가 Ion일 경우 시편에 주는 Damage가 거의 없어 전자현미경 관찰시 원형 그대로의 깨끗한 Image를 관찰할 수 있다. 그 방법의 한가지로 Ion sourec를 사용하며 ±6°씩 tilting해서 가공하여 사용할 수 있다. 여기에 전자Beam에 약한 시료의 경우 LN2로 냉각(-120°C)하여 가공함으로써 Ar에 의한 Damage가 거의 없이 깨끗하게 가공이 되어 TEM Image관찰이 상당히 깨끗하게 보이게 된다.
이 장비는 금속, 재료뿐만 아니라 전지(2차전지), 반도체, 세라믹등 다양한 분야에서 TEM Image를 관찰하고 성분분석을 진행하는 TEM관찰의 전처리 장비로 새로이 개발되어 사용하고자 하고 있다.
1. Ion accelerating voltage : 1 to 8kV
2. Tilt angle : Up to ±6°( 0.1° step )
3. Ion Beam diameter : 500µm 이상
4. Milling Speed : 5µm/min (8kV, silicon)
5. Max. Specimen size : 2.8mm(L) x 1.0mm(W) x 0.1mm(T)
6. Specimen Holder cooling Temp. : -120°C
7. Time for Cooling attainment : 1h
8. Cooling retention time : 8h
9. Specimen take-out time : 30min
10. Coolant : LN2
11. Gas : Argon
12. Dimension and weight