Hitachi
IM4000plus
11년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 절삭장비 > 밀링장비
2018-03-28
131,681,350원
고정형
건별
100,000원
- 시료 단면 구조의 고분해능 이미지 관찰 및 단면 구조 성분 분석을 위한 전처리 시편 가공
- 배터리 전극 (수십~수백 um사이즈) 의 단면 분석
- 전지 성능 열화 원인의 불순물 및 short 발생 원인의 물질 파악
- 전지 설계 변수에 따른 전극 swelling 메커니즘 분석
- 전지 특성에 영향을 주는 전극 변수 최적화로 배터리 설계 최적화 및 안정화
○ 주요 특징
- Cross-section milling
- Flat milling
- Higher milling rate (500 ㎛ / hr @ 6 ㎸)
- Ion beam intermittent irradiation to reduce thermal damage
○ 주요 사양
1. Gun Unit
- Accelerating voltage : 0 to 6 ㎸
- Discharge voltage : 0 to 1.5 ㎸
- Discharge current : 0 to 560
- Ion beam diameter : about 500 ㎛
- Milling rate : 500 ㎛ / hr @ 6 ㎸ (※ IM4000 : 300 ㎛ / hr)
- Ar gas flow control
2. Cross-section milling stage
-. X movement : ± 7 mm, Y movement : 0 to ± 3 mm
-. Sample rotation : ±3o
-. Swing angle : ±15o, ±30o, ±40o
-. Sample swing speed : OFF +1 speed
-. Max. sample size : 20 mm (W) * 12 mm (D) * 7 mm (H)
3. Flat milling stage
-. X movement : ± 0 to 5 mm
-. Sample rotation : ±5o
-. Swing angle : ±60o, ±90o
-. Sample rotation speed : 1 r/m, 25 r/m
-. Sample swing speed : 1 r/m, 10 r/m
-. Tilt : 0 to 90o
-. Max. sample size : φ50 mm * 25 mm (H) or larger