Moore Nanotechnology Systems
650FG v2
12년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 절삭장비 > 복합절삭장비
2018-12-21
1,044,060,294원
기관의뢰
고정형
시간별
200,000원
○ 초정밀가공용 공구성능평가
- 초정밀 광학부품 및 금형 가공용 다이아몬드 공구의 성능평가
- 미세형상 가공용 초경 마이크로 드릴/엔드밀의 성능평가
- 초정밀가공용 공구성능평가를 통한 공구설계 방안 도출
○ 초정밀가공 공정기술 개발
- 서브 μm 수준의 형상정밀도 및 수 nm 수준의 표면거칠기를 요하는 초정밀가공 메카니즘 규명 연구
- 기존의 특수가공, 연마가공 등을 대체할 수 있는 초정밀 절삭 공정기술 개발
○ 초정밀부품, 금형 등의 시제품 제작
- 초정밀가공을 통한 광학부품 시제품 제작
- 자동차 및 광학용 미세 자유곡면 및 형상 가공샘플 제작
○ 최대 공작물 : Φ 650 mm X 300 mm
○ 프로그래밍 분해능 : 0.01 nm, 0.0000001°
○ Form Accuracy (P-V) : 0.15 µm 이하/75 mm dia, 250 mm convex sphere (고순도 Al alloy 가공 기준)
○ Surface Finish (Ra) : 3.0 nm 이하 (Test Parts cut in both the X-Z and Y-Z planes, 고순도 Al alloy 가공 기준)
○ 이송축 수 : 5축 (X/Y/Z/B/C)
○ 이송축 스트로크 (X/Y/Z/A/C) : 350mm/150mm/300mm/360°/360°
○ 이송축 형태 : 유정압 베어링 (X/Y/Z/B), 에어베어링(C, Workholding Spindle)
○ 밀링 스핀들 : 60,000rpm (에어베어링)
○ 가공공정 : Turning, Milling, Flycutting