Polaris Electronics.LLC
Venus IV Parallel Seam Sealer
11년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 롤장비
2018-10-15
215,773,100원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 52,000원
세라믹(Ceramic) 또는 금속 패키지(Package)에 금속 리드(Lid)를 2개의 롤러 전극(Electrode Wheel)을 이용해 평행 시임(Parallel Seam) 용접 방식으로 패키지를 완전히 밀봉하고, 밀봉한 제품에 미세기밀(Fine leak)이 있는지 여부를 헬륨(Helium)을 이용해서 검출하는 장치입니다.
가) Seam Sealer
(1) Workpiece part size: 2 mm~139 mm
(2) Axis control: 6 axis
(3) Position accuracy: 0.025 mm 이하
(4) Weld force: 0 ~ 2500 grams
(5) Weld speed: 13 ~ 50.8 mm/sec.
(6) Included electrode wheels (2 pcs/set)
나) Leak Tester
(1) 밀봉된 제품에 He 주입 후, Leak tester로 검출
(2) Inner size: L170 mm x W90 mm x H20 mm
(3) Helium leak rate: <5E-13Pa・㎥/sec.
(4) Helium gas filling pressure: ~10 kg/cm^2G
다) Glove Box
(1) Size: W1219 mm x L609 mm x H609 mm
(2) Type: Two glove port
(3) Material: 304 stainless steel
(4) Gas (Nitrogen gas) 분위기 환경에서 작업
라) Vacuum Oven
(1) Size: L203 mm x W203 mm x H304 mm
(2) Temperature: 200℃ 이상 온도 설정 가능
(3) Type: Rotary Vacuum Pump