칼자이스(주)
Gemini 300
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2018-12-05
515,982,570원
기관의뢰
고정형
시간별
70,000원
1. 장비설명
- 전계 방사형 주사전자현미경은 전자총에서 방출된 전자를 가속시켜 시료 표면에 주사하여 시료와 상호작용으로 발생되는 전자 신호들을 수집하여 모니터의 밝기로 변조시켜 고해상도의 이미지를 얻고 여러 가지 신호들을 다양한 검출기들(BSD, EDS, EBSD)로 검출함으로 시료의 표면 형태, 구조, 조성적 특성을 밝히는 장비이다.
- 전자 컬럼을 이용하여 컬럼과 시편 사이에 장착해야만 했던 검출기 등을 컬럼 내부로 넣는 In-lens형 검출기로 장착하여 높은 해상도를 관찰할 수 있는 충분한 짧은 작업 거리를 확보할 수 있으며 짧은 작업 거리 확보로 인하여 강한 에너지를 가진 전자에 약한 시편들을 약한 에너지의 전자로 관찰할 수 있어 최상의 영상을 얻을 수 있다.
- 후방산란전자검출기가 컬럼 내부에 장착되어 잇어 Z CONTRAST에 의한 차이뿐만 아니라 전자의 결합구조, 에너지 상태에 차이를 동일 원소라도 관찰할 수 있는 시편의 원소조성에 따른 명암대비와 나노 파티클의 분석
1. Basic Unit of FESEM
(1) Performance
1) Resolution: 0.7 nm at 15 kV
1.2 nm at 1 kV
2) Acceleration Voltage
Range: 0.02kV to 30kV
Adjustment: continuously variable in 10 Volt steps
3) Probe current
Range : 5pA to 100nA
Stability: Better than 0.2%/h
4) Magnification
Range: 12x to 2,000,000x
2. Electron Optics & Column
(1) Electron Source
1) Filament: Schottky field emitter. stability better than 0.2%/h
(2) Objective Lens
1) Type: Electromagnetic/electrostatic objective lens system (80 conical final-lens) with water cooling
for best thermal stability and reproducibility.
2) Provides a reduced magnetic field at the specimen surface. Sub 4 nm resolution imaging of dia-, para-,
or ferromagnetic samples is possible even at working distances below 2 mm and low AV.
(3) Focus
1) Working Distance: Range from 0.1mm – 50mm, Depending on operation conditions
speed.
3. Chamber and Stage
(1) Specimen Chamber
1) Dimensions: 330mm inner diameter and 270mm height
2) EDS analytic applications with take-off angle of 35°
3) Analytical Working Distance: 8.5mm
(2) Specimen Stage
1) Type: 5-axis motorized eucentric, controlled from the SmartSEM GUI, operated by a dual joystic control
box.
2) Mounting: Drawer type door.
3) Movements : X/Y = 130mm, Z = 50mm T = -3° to 70° R = 360° continuous
4) Accessory Ports: Two accessory ports on the stage door are provided.
5) Specimen Weight: Up to 0.5kg
4. Detector System
(1) Inlens SE Detector: Column-mounted scintillator detector with optically coupled
photomultiplier for high efficiency surface sensitive inlens SE detection.