[ 물품의 구성 ]
1) 최대 기판 크기 : 200㎜ × 200㎜ (Glass 기판 기준)
2) 장비 면적 : 약 230 cm(W) x 260 cm(D) x 250 cm(H)
3) 장비 총중량 : 약 3,000kg
4) 장비 구성
- 무기방지막 설비 (ALD with Load-lock) : 1 System
- 유기방지막 설비 (IPS with Glove Box) : 1 System
- 시스템 제어 (System Control) : PC 기반 제어 시스템

[ 물품의 성능 ]
1) 무기방지막 설비
- 무기 박막 형성
2) 유기방지막 설비
- 유기 박막 형성