Hitachi
SU3500
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2018-09-27
199,158,000원
기관의뢰
고정형
건별
30,000원
주사전자현미경은 전자선이 시료면 위를 주사(scanning)할 때 시료에서 발생되는 여러 가지 신호 중 그 발생확률이 가장 많은 이차전자(secondary electron) 또는 반사전자(back scattered electron)를 검출하는 것으로 대상 시료를 관찰할 수 있는 장비임
- Resolution
3.0㎚ at 30kV (SE image) 7.0nm at 3kV (SE image) 4.0㎚ at 30kV (BSE image)
- Magnification : x6 ~ x800,000
- Accelerating voltage : 0.3 to 30㎸
- Maximum specimen size : 200㎜ dia.
- EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer, X-max20, Horiba)