Hitachi
REGULUS 8100
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2018-11-15
455,865,150원
기관의뢰
고정형
건별
105,000원
저 가속전압 하에서 전자 빔의 손상 없이 미세 영역 측정 시료 분석이 가능한 주사전자현미경 분석 장비로써 시료의 표면미세구조 분석의 신뢰성을 높이기 위해 주사전자현미경의 저전압 조건이 필수적임. EDS 등 부속장비 장착으로 정성·정량(%)적 분석용도로 활용 가능함
- Scanning Electron Microscope : Resolution 1.0nm at 15kV or less
Magnification : x20 ~ x8,000,000 (Mag. on photo) or more
Specimen stage : Fully eucentric 5-axis motorized stage
- Energy Dispersive X-Ray Spectrometer
- CD measurement function