Gatan.UK
MonoCL4(Demo Version)
4년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 카메라/영상처리장비 > 달리 분류되지 않는 카메라/영상처리장비
2018-04-24
93,500,000원
기관의뢰
고정형
건별
100,000원
SEM Chamber에서 전자빔과 반응하여 발생하는 미세한 광자들을 Light Guide를 통하여 집약시키고 Monochrometer를 통하여 각 파장대의 Image및 Spectrum을 얻음. 기존의 SEM 시편으로부터 보다 다양한 Element정보를 제공하고, 결정상의 결함이나 HSPMT(High Sensitivity PMT)를 활용하여 165nm ~ 930nm의 영역에서 분광분석을 하여 결정성장에 대한 정보를 제공 하고 Interface에 대한 정보를 포함하여 광물연구에 필요한 다양한 응용분야의 연구에 있어서 꼭 필요한 장비임. 또한, 반도체 소자의 전기적인 특성을 분석 할 수 있도록 SEM Chamber 내부에 디스크리트 소자의 홀더를 장착하고 소자에 바이어스 전압을 걸 수 있는 외부 바이어스 전압 공급 장치와 신호 증폭기를 설치하여 단자간의 Current 손실도 SEM image로 확인이 가능 하도록 Current Image의 제공이 가능 하다.
- MonoCL4(Basic model): PMT (185 – 850 nm)
- Efficiency of CL imaging: High
- Compatible wavelength range3 (nm): 185 - 2300
- Light loss at 540 nm4(%): <8
- Spectral discrimination: Optical filter
- Configuration: Czerny-Turner
- Focal length (mm): 300
- Variable slits (mm): 0.01 – 10
- Turret with diffraction grating positions: 2
- Diffraction gratings blazed at 500 nm (l/mm): 1200
- Wavelength range (nm) : Diffraction grating dependent
- Spectral accuracy (nm)5 : ±0.2
- Spectral resolution at 404.6 nm (nm)5 : <0.5
2. Collection optics
- Diamond-turned parabolic mirror : Greater than 80% collection
efficiency (assuming a Lambertian emission distribution)2
- Field of view diameter (μm) : ~100
- Retraction distance under vacuum conditions (mm) : 75 or 160
- Alignment : Fixed with respect to spectrometer and detectors
- Working distance (mm) : 15 or 10