HEXAGON
Optiv Reference 763 Dual Z
9년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 길이측정장비
2018-11-05
442,939,180원
기관의뢰
고정형
기타
200,000원
원리
비접촉식 센서(CCD 카메라, 광학렌즈, 조명)를 사용하여 측정물에 직접 센서를 접촉하지 않고 빛을 수집하여 Image Processing과정을 거쳐 형상을 시각화한 후 렌즈배율을 조절, 측정요소를 확대, 축소하여 위치, 길이 및 형상 등을 측정하는 장비를 비접촉 광학 형상 3차원측정기라고 함. 또한 접촉식 센서 및 레이저 센서 등 다양한 센서를 활용하여 복합적인 측정기능을 구현할 수 있는 다목적 3차원측정기를 일컬음.
특징
1. 장비 구조는 초정밀 측정 및 장기간 정밀도 유지하고 진동의 영향으로부터 오차를 최소화할 수 있는 브릿지 고정형(Fixed portal design) 타입으로서 테이블 이송방식을 채택한 구조로 구성되어 있음
2. 초정밀도를 구현하기 위하여 측정 정반은 고밀도의 화강암구조를 지닌 그라나이트 재질로 구성되어야 하며, 정반의 중앙에 볼스크류 방식의 드라이브를 장착하여 전, 후 방향으로 이송이 가능.
또한, x축 스케일은 아베의 원리에 가장 충실하게 중앙에 설치되어 오차의 요소를 최소화한 구조이어야 하며 모든 스케일은 최대 0.05 ㎛ 이내의 분해능을 갖음
3. 미세한 온도변화에 의한 영향을 최소화하기 위해 각 축은 철, 알루미늄 재질이 아닌 화강암 또는 세라믹 재질의 열팽창 계수가 작은 소재를 사용하여야 하며 주변 환경에 따른 측정물의 온도 변화를 정확 하게 보상 할 수 있도록 온도 보상 센서를 장착 함
4. 컨트롤 시스템은 장비 및 프로브의 위치제어, 데이터 수집, 처리, 출력 및 에러 검출 등의 멀티태스킹 기능을 수행할 수 있어야 하며, 서보컨트롤에 의한 측정기의 정확한 제어가 가능함.
또한, error발생으로 인한 조치시간을 최소화하기 위한 자가 진단기능을 갖추어야 하고, 장비 정밀도 유지를 위해 컴퓨터에 의한 3차원 정도 보정 기능을 갖추어짐
5. 카메라 이외의 다양한 센서를 활용하여 측정가능 영역을 넓힐 수 있는 멀티센서 기능을 수행할 수 있음
6. 제품 회전을 위해 로터리 테이블을 장착하여 측면 및 하면부 측정을 가능함
7. Laser 또는 백색광 센서를 활용하여 연마된 금형 표면, 유리, 투명재질 부품에 대한 형상 검사가 가능 함
. 초정밀 광학형상측정기 장비 본체
1. Vision Base Machine
측정영역 : 700 x 600 x 300 mm
테이블 이송 방식으로 고정밀도를 위한 고정형 브리지 구조
Dual Z; 2개의 독립적인 Z축 구조, 카메라 센서와 접촉식 센서 독립적으로 구동
멀티센서 시스템(Camera, tactile, CWS..)
-하나의 측정기상에서 측정물 이송, 위치 변환 없이 모든 측정요소 측정 가능
-단일 프로그램에서 다양한 측정방식 선택 가능, 각각의 측정 데이터 호환, 상호 연산 가능
정밀 CNC Zoom Camera 시스템
-측정요소에 따라 43x ~ 427x (모니터 기준) 배율을 자유롭게 선택
투명재질(렌즈, 석영, Wafer) 비접촉 연속 스캔 기능
스케일분해능: 0.05 µm
작업 최대 적재하중: 150 Kg (glass plate up to 50 Kg)
DC servo motors, power transmission via backlash free
Circulating ball screws
Incremental optoelectronic length measuring system
Manual Jog Box in Manual Mode
Rotary table 장착, 측정물 회전 가능
2. 멀티센서 시스템
1) High Accuracy CNC Zoom Camera [비접촉식센서]
Ex, Ey = 0.5 + L/600 μm (단일축 이송 정밀도)
Exy = 0.8 + L/600 μm (X-Y 평면 정밀도)
- 10x CNC Motorized Zoom, 1/1.8“ CMOS Camera
- H 1280 × V 1024 픽셀 해상도
- 배율 43x ~427x
-Field of View: 1.06 x 0.85mm ~ 8.5 x 10.6 mm
-Working distance: 86mm
2) 조명장치 ILLUMINATION(White)
● Coaxial LED Top light
● Telecentric LED Back light
● 12 Segment LED Ringlight(Ф120mm)
- 2 rings with 2 different angles of incidence
( 28.21°& 37.88°)
- Segment; 4 x 90° (Inner ring)
8 x 45° (outer ring)
3) Chromatic White light Sensor(백색광 센서)
- 정밀도(센서기준): 1.0 μm
- 측정영역: 3.0 mm (Z-direction, Depth)
- 분해능: 0.1 μm (in Z-direction)
- 측정높이: 20 mm
4) 고정밀 접촉식 스캐닝 프로브 센서 (Tactile Sensors)
- MPE-E =1.3 + L/300 μm (공간정밀도)
- MPEтнр =1.9 μm / 90 sec (스캐닝정밀도)
● Contact continuous scanning Probe Kit
- Continuous scanning probe kit
- Standard Stylus kit
- Auto Stylus changer -3port
5) 자동회전형 로터리 테이블 CNC Rotary Table
- 120mm Diameter
-구조: 자동 회전형 테이블(360° Continuous)