(주)파크시스템스
NX10
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2018-01-22
126,197,000원
기관의뢰
이동형
기타
100,000원
원자현미경은 마이크로머시닝(Micromachining)으로 제작된 극히 미세한 탐침을 시료표면 가까이 가져 갔을 때 생기는 원자간의 상호 작용력을 측정함으로써 나노미터크기 이하의 미세한 시료표면의 3차원적 형상을 알아내는 장치로써 일반 대기중에서 시료표면의 전처리 과정 없이, 즉, 도체, 반도체 및 부도체에 상관없이 시료표면의 폭, 높이, 각도, 거칠기 등 3차원적 정보를 얻을 수 있으며, 액체 내에서도 측정이 가능하며 또한 시료의 표면 온도분포, 전기적, 자기적(磁氣的), 기계적, 물리적 특성 및 물질 상호 반응 현상 등을 측정 할 수 있습니다.
1. 원자현미경 기본구성
- AFM 콘트롤러 / 데이터 처리 시스템
- 50 um x 50 um 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어
- 15um 수직(Z) 스캐너
- 20mm 고정밀도 수평(XY) 모터 스테이지
- 고해상도디지털 CCD 카메라 : 디지털 줌 가능
- SmartScan 데이터 수집/분석 및 다수의 측정지점에 대한 자동화 측정 소프트웨어
- XEI 화상 이미지 처리 소프트웨어
- 실시간 CCD 카메라 영상 이미지 표현
2. 액티브 진동차단 시스템
3. 일체형 소음 차폐장치
4. Conductive AFM 및 I/V spectroscopy
5. Enhanced EFM (EFM, SKPM, DC-EFM, PFM)
6. Magnetic Force Microscopy
7. Nanoindentation
8. Force Modulation Microscope and Force Volume Microscope
9. Temperature Control Stage
10. 다양한 캔틸레버