Anton Paar
STeP6 UNHT3&MST3&NST3
11년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 재료물성시험장비 > 달리 분류되지 않는 재료물성시험장비
2018-03-23
456,183,460원
기관의뢰
고정형
시간별
150,000원
박막의 기계적 특성, 이형성, 부착력, 내구성 등을 시험, 분석 평가하는 장비로서 다음과 같은 항목이 가능함
1) 나노 박막(1 μm 이하)의 스크래치 시험
2) 마이크로 박막(1 μm 이상)의 스크래치 시험
3) 박막의 마찰 마모 시험
4) 고온 스크래치 시험
5) 나노미터 이하 정밀도의 압입 시험
6) 광학현미경을 이용한 스크래치 시험 결과 확인
장비 구성
- 스크래치 시험 모듈
- 스크래치 시험용 고온 스테이지
- 광학현미경
- 압입 시험 모듈
- 샘플 이송 테이블
- 소음 차단용 캐비닛
- 스크래치 시험 소프트웨어
- 압입 시험 소프트웨어
- 운영 PC 및 모니터