(주)쎄크
SNE-4500
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2018-01-22
71,923,740원
기관의뢰
고정형
기타
100,000원
1. 소형화된 주사전자현미경은 설치공간과 주변 외부환경에 제약이 적으며, 일반 테이블에 올려놓고 사용할 수 있는 Tabletop 형태로 구성되어 있음.
2. 고진공 펌프(Turbo Molecular Pump)를 기본장착하여, 대기시간부터 진공이 완료되는 시점은 3분 이내임. 보조펌프로는 Rotary Oil Pump 를 사용하며 오일교환이 단순함.
3. SE(2차전자) 디텍터가 기본으로 장착되어 있으며, 고 진공 모드에서 분석이 가능함.
4. 이 장비는 시료의 위치를 확인하기 위하여 스테이지(X,Y,R,Z,T) 이동 축을 사용하며, 3개의 이동축에 모터를 장착해서 키보드 및 마우스 만을 이용하여 움직일 수 있다.
5. 장비를 운용하기 위한 메인보드 시스템은 일체형 통합 Board 방식이 아닌 Slot Board 형태로 구성되어 있음. 이것은 장비의 결함으로 서비스 발생 시 각 기능 하나의 Board 교체로 시간단축과 비용부담을 최소화 할 수 있음.
6. Recipe 기능은 최대 6개의 위치를 기억할 수 있음. 불러오기 버튼으로 저장된 위치로 자동이동 되며동일위치를 재분석 할 수 있는 기능이 포함되어 있음.
7. Chamber 측면에 EDS 장치를 장착할 수 있도록 별도의 Port가 구성되어 있음.
1. 주요기능
1) 분해능(SEI) : 가속전압 30kV 에서 5nm
2) 배율 : 20x to 100,000x
3) 가속전압 : 1kV to 30kV (1kV / 5kV / 10kV / 15kV / 20kV / 30kV – 6step)
2. 전자 총
1) 텅스텐(W) 필라멘트, 카트리지 교환 방식
2) 렌즈 구성
- 집속렌즈 : 마그네틱 코일형 2단 렌즈
- 대물렌즈 : 마그네틱 코일형 1단 렌즈
3) 비점장치 : 8극 전자기장 형
4) Variable Aperture : 30/50/50/100um - 4hole
3. 전자 수집 (Multi Detector mode)
1) 2차 전자(Secondary Electron Detector) / E-T Detector Type
4. 스테이지 시스템
1) X,Y,R,Z,T : 3-axis(X,Y,R) Motorized / 2-axis(T,R) Manual
- X-axis 이송 거리 : 40㎜
- Y-axis 이송 거리 : 40㎜
- R-axis 이송 거리 : 360° (Rotation)
- T-axis 이송 거리 : 45°
- Z-axis 이송 거리 : 0 ~ 35㎜
2) 최대 샘플 크기 : 80㎜ in Diameter, 50㎜ in Height
3) Working Distance : 0 to 35mm
- 진공상태 내에서 실시간 Z-axis 조정을 통한 심도 깊은 영상 구현
4) Auto Calibration Stage system : 5-axis Home potion setting.
5) 3-axis Stepping Motor 채택 : 정밀도 3um 이내
5. 영상이동 : X,Y - Beam Shift ±75um (4극 전자기형)
6. 진공 시스템
1) Rotary Pump (100Liter) + Turbo Molecular Pump (80Liter)
- 전 자동화 형태로 구성
- 고 진공시간 시작 후 3분 이내 진공 완료
- 진공해제 : 1분 30초 소요
2) High Vacuum System
7. 자동기능 : 자동초점(W/D, Fine), 자동 명암&밝기 기능, 자동 스테이지 설정 기능
8. 제어 시스템
1) 컴퓨터 : Desktop PC
2) 사용모드 : Controls - Mouse and Keyboard
3) 모니터 : 22 inch LCD
4) 디스플레이 모드
- Fast Scan : 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
- Slow Scan : 640x480 (Scan time: 3 sec.)
- Photo Mode 1 : 1280x960 (Scan time: 30sec.)
- Photo Mode 2 : 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
- Photo Mode 3 : 5120x3840 (Scan time : 120sec)
9. 소프트웨어 시스템
1) 동적 초점(Dynamic Focus)
- -15 to 90° 의 Tilting 시에 각도 별로 위치를 잊어버리지 않도록 스테이지 자동 위치 보정
2) Recipe Mode
- 6개의 자동저장 모드설정
- 위치 저장, 불러오기 기능을 통해 저장 값 위치로 자동 이동
3) 다양한 타입의 이미지파일 open, 편집기능
- 명암 및 밝기 보정 / 길이 및 Test 등 재 편집
4) 이미지에 대한 자동저장 기능
5) 이미지의 다양한 촬영정보 설정, 동영상 기능
6) 길이 및 Text등 Measuring 기능
10. 설치환경
1) 온도 : 22℃ ± 5℃ / 습도 : 80% 이하
2) 전원 : 220V AC, 1KW 미만, 50~60Hz (UPS 및 Air 공급필요 없음)
11. Dimension
1) Main Unit : 390(W) × 412(D) × 590(H)mm * Door 제외 : (377.3mm_Depth)
2) Control Unit : 390(W) × 325(D) × 590(H)mm
3) 중 량 : 115kg