바큠텍
HFCVD
11년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
2017-12-28
367,950,000원
기관의뢰
고정형
시간별
37,000원
1. 본 장비는 Hot filament 방식을 이용한 CVD 다이아몬드 코팅시스템임.
2. 열필라멘트 방식은 2000도 이상 고온으로 유지되는 필라멘트를 다이아몬드 합성의 열원으로 사용하는 방식이며,
다이아몬드가 합성되는 기판에서는 600~900도 온도가 유지됨.
3. 합성온도, 가스 종류와 양, 그리고 농도 등에 의해 다이아몬드 막을 합성시킴.
주요 구성장치로는 코팅소재의 전처리시스템 및 다이몬드결정 합성 열필라멘트 CVD 장치로 구성되어 있음.
1. 코팅면적 : 290*290 mm
2. 증착속도 : 1.1 um/Hr
3. 코팅 영역내 코팅두께에 대한 공차 : 10% 이하
4. 최대 코팅두께 : 20um 이상