아이시스주식회사
i70A New Arc Source
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 달리 분류되지 않는 성형/가공장비
2017-12-18
319,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
32,000원
i70A의 진공 증착 방식은 가변 가능한 로테이션의 회전을 통하여 두께 및 색상 편차를 향상 시킬 수 있으며, 단일 진공조(single chamber) 방식으로 Double & Triple rotation 운전방식의 편리성과 장점을 적용하였으며, 아래와 같은 장점을 가지고 있습니다.
1. 쉽고 편리한 원터치 풀 오토 장비.
2. Arc Source는 Arc의 회전 속도를 임의 조절 기능.
3. Source의 마그넷 극성 및 가우스 세기를 임의 조절 기능.
4. 전압(V) 및 자동 아크 제어 기능을 포함한 Arc P/S.
5. 로테이션 회전 속도 임의 조절 기능.
6. 공정 중 알람 발생 시 Restart 레시피 설정 기능.
7. 소모품 사용 시간 초과 시 알람 기능.
8. 쉴드 부품 퀵 클램프 방식을 적용하여 간편한 장착 및 탈착 기능.
9. 공정 데이터 자동 백업 기능으로 모든 공정 히스토리 관리 기능 (베치당 12시간 공정 데이터 저장).
10. 장비 및 P/S 직접 제작(Bias P/S 제외)으로 호환성 및 최적화된 장비 성능.
11. 핫 쿨링 시스템 적용으로 장비 결로 현상 방지.
13. 장비 원격 지원으로 고장 발생 시 즉시 대응 가능.
*i70A New Arc System.
1. Coating Chamber
1-1. Chamber : 1 Set
1-1-1. Material (Electro Polished Chamber) : SUS304
1-1-2. Dimension : 700Wx700Lx700H
1-1-3. View Port (2”) : 2 EA
1-1-4. Port NW25 Spare : 2 EA
1-1-5. New Arc Source ass’y : 6 sets
1-1-6. Vacuum Rotation Feed Through (cooling type) : 1 set
1-1-7. Substrate Bias Power Feed through : 1 set
1-1-8. Chamber Shield (Surface Bead blast) : 2 sets (Spare 포함)
1-1-9. Heater ass’y : 1 set
1-1-10. Rotation Moving System : 1 set
1-1-11. Pumping Port : 1set
1-1-12. N2 Purge Port : 1set
1-2. Heater : 1 set
1-2-1. Material : Sheath type
1-2-2. Max Temperature of heater : 650℃
1-2-3. Control Type : PID
1-2-4. Thermocouple : K type
1-2-5, Mount plate : SUS 304
2. Vacuum System
2-1. Rotary Pump PJ Codivac : 1 set
2-1-1. Pumping Capability : 1000 ℓ/min
2-1-2. Director Motor Drive
2-1-3. Ultimate Pressure : 10 ‾3 Torr
2-2. Booster Pump PJ Codivac : 1 set
2-2-1. Pumping Capability : 300 ㎥/hr
2-2-2. Director Motor Drive
2-2-3. Ultimate Pressure : 10 ‾⁴ Torr
2-3. Turbo Pump Pfeiffer Vac : 1 set
2-3-1. Pumping Capability : 1,900ℓ/sec (Air)
2-3-2. Ultimate Pressure : 10 ‾8 Torr
2-3-3. Operation Pressure : 10‾ ³ ~ 10‾ ⁴Torr
2-4. Vacuum Valve : 1 set
2-4-1. NW63 Angle Valve (Pneumatic)
2-4-2. NW25 Angle Valve (Pneumatic)
2-4-3. Angle Gate Valve (Pneumatic)
3. Power Supply
3-1. New Arc power & Sub power ISYS : 6 sets
3-2. Pulsed Bias power (15KW) Solvix : 1 set
4. Triple Rotation Table
4-1. Triple Rotation Table : 1 set
4-1-1. Type : Static rotation table
4-1-2. RPM : 0 ~ 3 RPM (variable)
4-1-3. Coating Zone : Ø130 x 6 axis x 330mm(H)
5. Controller
5-1. Main Controller
5-1-1. Interlock (Water, Air, Vacuum, Etc)
5-1-2. PLC Software Program with PC operation
5-1-3. Industrial computer and LCD Monitor
5-1-4. Data Base Back-up System
5-2. Vacuum Controller
5-2-1. 0.1 Torr Baratron Gauge MKS : 1 set
5-2-2. Ion Gauge (Hi-Vac) Pfeiffer Vac : 1 set
5-2-3. Pirani Gauge (Rough-Vac) Pfeiffer Vac : 2 sets
6. Gas Inlet Supply
6-1. MFC (Mass Flow Controller) : 3 sets
6-1-1. Flow control range : 0 ~ 200 & 500sccm
6-1-2. Lock type Fittings
6-1-3. Gas : N2, Argon, C2H2
6-2. Gas Bellows Valve : 6 sets
6-2-1. Pneumatic Type Valve
6-3. Gas Line : 1 set
6-3-1. ¼ inch SUS 316BA Tube
7. Hot Cooling System
7-1. Water Heating Assy : 1 set
7-1-1. pump with Heater(temp max 40℃)
8. Control Rack
8-1. Rack Configuration
8-1-1. PC monitor : 1 set
8-1-2. System computer : 1 set
8-1-3. New Arc power & Sub supplies : 6 sets
8-1-4. Pulsed Bias power supply : 1 set