서울엔지니어링(주)
SEC-2
10년
주장비
생산
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 광/LED/반도체/디스플레이측정시험장비
2018-01-31
296,417,180원
기관의뢰
고정형
건별
200,000원
본 장비는 100um 이하 단일 또는 배열형 마이크로 LED를 이송하여 기판위에 위치 시키는 장비로서 아래와 같은 기능이 가능한 장비이다.
1. 마이크로 LED 웨이퍼 자동 및 수동 이송/고정
2. 마이크로 LED 소자 픽업을 위한 자동 정밀 정렬 기능.
3. 마이크로 LD 소자 픽업 및 배치를 위한 하중 제어 기술
4. 임의의 회로기판에 마이크로 LED 소자 배치를 위한 자동 정밀 정렬
5. 마이크로 LED 소자 기판 배치 후 접합용 온도 제어 및 UV-LED 경화
6. 위치 및 정렬도 확대 검사(고정배율 및 디지털 줌)
7. 장비 운용을 위한 프로세스 설정 및 각 단계별 동작 제어.
○ 전사헤드 1세트
- 기판 고정대 (holder)
· 유연기판을 포함한 모든 기판의 크기별 단계 진공흡착 제어
· 기판장착 최소/최대 크기: 10mm x 10mm이상, 100mm x 100mm이하
· 평탄도: ± 10 ㎛ 이하
· 평탄도 수동 보정을 위한 레이저 변위센서 장치와 연계 (수동)
· 기판 고정대 재질 : 쿼츠 & 메탈
- 하중 제어장치
· 기판 고정대와 연결되어 하중 제어.
· 하중 제어모드
→ Z축 이송거리: 100mm 이상
→ 최소/최대 이송속도: 1 ㎛/s 이하, 5 ㎜/s 이상
→ 하중: 10Kg 이하
→ 하중 정확도 : ± 4 % 이하 전체의 분포하중은 아님)
→ 이송거리 조절 최소크기 : 0.1㎛ 이하
○ 레이져 변위 측정장치 1세트
· 레이저 변위계를 사용하여 기판 고정대의 평탄도를 측정하여 후 수동으로 평탄도 보정.
· 측정범위 : ± 1mm 이상
· 분해능 : 0.1μm 이하
○ 기판장착 및 고정 스테이지 장치 2세트
- 마이크로LED 웨이퍼 로딩용 스테이지(S1)
· 모든 웨이퍼의 크기별 단계 진공흡착 제어가 가능하여야함
· 웨이퍼 장착 크기: 2인치 & 4인치
· 평탄도: ± 10 ㎛ 이하
· 전사헤드에 부착된 샘플과 정밀 얼라인을 위해 X, Y, θ축 구동이 가능한 자동 얼라인먼트 스테이지가 포함되어야함
- 회로기판 로딩용 스테이지 (S2)
· 마이크로LED 접합을 위한 온도조절장치가 포함되어야함
· 모든 웨이퍼의 크기별 단계 진공흡착 제어가 가능하여야함
· 기판 최소/최대 크기: 10mm x 10mm이상, 100mm x 100mm이하
· 평탄도: ± 30 ㎛ 이하 @ 250도
· 전사헤드에 부착된 샘플과 정밀 얼라인을 위해 X, Y, θ축 구동이 가능한 자동 얼라인먼트 스테이지가 포함되어야함
· 최대가열온도 : 250도 이상
· 온도정밀도 : ±3% 이하
○ 정밀 이송장치 1세트
· 원점복귀 및 이송거리 설정.
· 이송 최대거리: X축 400 mm 이상, Y축 200 mm 이상
· 이송거리조절 최소단위: 0.1 ㎛ 이하
· 이송 최소/최대속도: 1 ㎛/s 이하, 150 ㎜/s 이상
· 축방향 허용 최소하중: X축 20 Kg 이상, Y축 40 Kg 이상
· 회전범위 : ± 15도 이상
○ 정밀 정렬/검사/측정용 비젼 시스템
- 중간부 비젼(카메라 2EA로 상하부 동시 관찰)
· 중간부에 위치한 상하 옵틱 비젼은 전사헤드와 기판정렬을 위하여 Align Mark를 자동인식하여 자동 얼라인먼트 수행 및 목시(육안) 검사용함.
· 카메라 CCD 유효 화소수 : 2448 × 2048
· 배율 : 5배 (고정배율 : Digital Zoom x1 ~ x4)
· FOV : 약 1800μm × 1350μm
· 분해능 : 광학분해능(약 2.5um), 영상분해능(약 0.8um)
· Camera : C Mount Image Sensor 2/3인치
· 조명 : 할로겐 동축조명
- 상부 비젼(카메라 2EA, 고배율 저배율 제공)
· 쿼츠로 제작된 전사헤드에 로딩된 샘플과 기판정렬을 위하여 얼라인마크를 인식하여 자동 얼라인먼트 수행
및 목시(육안) 검사
· 카메라 CCD 유효 화소수 : 2448 × 2048
· 배율 : 고배율 5배(고정배율), 저배율 1배(고정배율)
· FOV : 고배율 약 1800μm × 1350μm
저배율 약 9000μm × 6750μm
· Camera : C Mount Image Sensor 2/3인치
· 조명 : 백색 LED 또는 할로겐 동축 조명.
○ 접합용 UV-LED 경화장치 1세트
- 경화광원의 파장: 365㎚ ± 10㎚ (면광원 type)
- 조사최대면적: 50mm x 50mm 이하
- 최대 조도: 1000 mW/c㎡ (조사거리 : 20 mm)
- 조도측정기는 UIT-250기준