Kosaka
ET600
7년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2017-11-28
184,212,870원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 35,000원
- 접촉식과 비접촉식 두가지 방식을 사용하여 기존의 다양한 방식의 측정기들이 가지는 단점들을 보완하고, 장점들을 취합하여 하나의 시스템으로 사용
- 서브마이크로 스케일을 요구하는 디스플레이 및 반도체, 의료기기 산업에서부터 정밀 측정이 필요한 자동차, 항공, 금형 산업 등 다양한 제품들의 데이터 획득 및 비교분석
- Non-contact
1) Source : White Light
2) Vertical resolution : ≤ 0.1 nm
3) Repeatability : ≤ 10 nm
4) Included more than 3 Objective lens)
- Contact
1) Vertical resolution : ≤ 0.1 nm 2) Repeatability : ≤ 2 nm
3) Scan tip : ≤ standard 2 um
4) Included more than 2 tip
- System
1) XY Stage range : ≥ 150 x 150 mm, Controlled motorize
2) Z Stage range : ≥ 50 mm, Controlled motorize
3) Stage repeatability : ≤ 5 um
- Software
1) Control S/W 2) 2D, 3D Analysis S/W