Jeol
JSM-IT500
11년
주장비
시험
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2017-12-22
383,566,370원
고정형
건별
2,900,000원
본 장비는 경수로 사용후핵연료 피복관의 수소화물 분석, 미세조직 분석, 크립시험후 파단면 관찰 등 조사시편 분석을 구축한 장비로, 사용후핵연료 건식저장 관련 연구 수행에 활용하고 있다. 중성자 조사 시편의 미세조직 및 성분분석을 위해 이차전자검출기(SED), 후방산란전자검출기(BSED), 전자후방산란회절분석기(EBSD), 파장분산분광분석기(WDS)가 설치되어 있다.
○ 전자현미경
1. 해상도
3.0 nm (가속전압 30kV, SEI, HV mode)
15.0 nm (가속전압 1kV, SEI, HV mode)
2. 이미지: 이차전자상, 후방산란전자상 (Compo, Topo, Shadow 모드)
3. 배율: x 5 to 300,000
4. 가속전압: 0.3 to 30 kV
5. 최대 시편크기: 직경 203.2mm
6. 시편 스테이지: 컴퓨터 제어되는 5축 모터 구동
7. 전자총: Pre-centered tungsten hairpin filament
8. 자동 제어기능: Auto gun control, Auto contrast and brightness (ACB), Auto focusing (AF), Auto stigmator (AS)
9. 진공시스템: TMP, RP
○ 전자후방산란회절 분석기(EBSD)
1. 후방산란전자회절 카메라
- 분석 소프트웨어를 이용하여 0.3 deg 이하의 격자 방위각 분석이 가능
- 0.5 nA 정도의 낮은 빔전류에서 분석 가능
- 최대 해상도: 1344 × 1024
- 픽셀비닝: 1×1, 2×2, 4×4, 8×8, 8×16
- 카메라 위치 조정: 최소 0.1 mm 조정 가능
- 속도 및 인덱싱: 99%, 100Hz
- 감도: 5kV, 100pA
2. 소프트웨어
- 데이터 후처리 프로그램
- EBSD Mapping
- 기존 분석 결과를 활용하여 재분석하는 기능
- 시료 드리프트 보정 기능
- 패턴을 얻고 인덱싱하는 기능
- 전자현미경의 이미지 및 빔제어 기능
- 전자현미경의 스테이지 제어 기능
- Crystal Definition을 통해 기존 데이터베이스에 존재하지 않는 새 데이터베이스 생성 기능
- 극점도 기능
- 집합조직 해석 기능
○ 파장분산분광분석기(WDS)
1. 분광기
- Rowland circle: 210mm (2Θ range of 33˚ to 135˚)
- 회절격자: Five diffracting crystals on a six position, computer controlled turret, changeable at any position. For analysis of all elements down to Be (Z = 4)
- Reproducibility of wavelength position: ± 0.000014nm
- Linearity of wavelength position: ± 0.0002nm
- X-ray count intensity is insensitive to specimen height variations of ± 2mm
- X-ray detectors consisting of one flow proportional and one sealed proportional counter mounted in tandem
- Slit size motor for controlling width of receiving slit(0.01-2.50 mm in 0.01mm steps) located in front of x-ray detectors
2. 분광기 제어유닛
- Fully automatic detector calibration
- Pulse height analysis using multichannel analyzer
- Amplifier gain programmable from 1X to 127X
- Specimen current meter for measurement of absorbed current from 0.01nA to 1000nA