TESCAN
MIRA 3
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2017-12-25
389,411,850원
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
20,000원
주사전자현미경은 진공 중에 놓인 시료표면을 전자선을 이용하여 X, Y의 이차원방향으로 주사하면 시료물질의 원자와 전자선의 상호작용으로 2차 전자, X선 등이 발생하고 이 신호들을 검출기로 검출하여 시료의 확대상을 획득할 수 있음
○ Electron Gun
1) In-beam SE : 1.0 nm at 30 kV
2) BSE : 2.0nm at 30kV
3) Magnification at 30kV : 2 x – 1,000,000x
4) Field of View : 6.4 mm at WD analytical 10mm, 20 mm at WD 30mm
5) Accelerating Voltage : 200 V to 30 KV
6) Probe Current : 2 pA to 200nA
○ Electron Optics Working Modes
: Resolution Mode, Depth Mode, Field Mode, Wide Field Mode
○ Scanning
1) Scanning speed : From 20 ns to 10 ms per pixel
2) Scanning Features : Point & Line Scan
○Vacuum System
1) Chamber Vacuum : < 9x10-3 Pa
2) Gun Vacuum : < 3x10-7 Pa
○ Specimen Chamber
1) Internal Diamer : 230mm
2) Door with : 148mm
○ Specimen Stage
1) Type : Compucentric, fully motorized
2) Movements : X = 80 mm (–40 mm to +40 mm), Y = 60 mm (–30 mm to +30 mm), Z = 47 mm
3) Rotation : 360˚
4) Tilt : –80° to +80°
○ Detectors
1) SE :Secondary electron detector
2) In-Beam SE Detector
3) Retractable BSE
○ Energy Dispersive Spectrometer System (EDS)