(주) 에스제이 이노테크
로더장비 SCLD-S/ 언로더장비 SCUD-S
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 자동화/이송장비 > 자동투입장치
2017-11-22
91,500,000원
원
1) SCLD-S : 웨이퍼를 자동으로 공급하는 장비입니다, 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼를 한 개씩 웨이퍼 스크린 프린터 장비로 이송하는 역할을 합니다.
2) SCUD-S : 공정이 완료된 웨이퍼를 빈 카세트에 적재하는 장비 입니다. 프린터와 드라이어 장비를 통해 완료된 웨이퍼를 받아 케세트에 한 개씩 적재하는 장비입니다.
1) SCLD-S : 웨이퍼가 적재된 카세트를 공급하는 공급부(상부)와 웨이퍼 공급이 완료되어 빈 카세트를 배출하는 배출부(하부)가 있습니다. 카세트에 있는 웨이퍼의 공급은 카세트 엘리베이터가 상부에서 하부로 이동하면서 웨이퍼를 공급합니다. 웨이퍼는 3개 구간의 켄베이어로 이송합니다.
2) SCUD-S : 웨이퍼를 적재할 빈 카세트를 공급하는 공급부(하부)와 웨이퍼를 적재 완료된 캐세트를 배출하는 배출부(상부)가 있습니다. 웨이퍼 적재는 카세트 엘리베이터에서 하며, 하부에서 상부로 이동하며 적재 합니다.
3개 구간의 켄베이어를 이용하여 카세트로 웨이퍼를 이송합니다.