주식회사 노스트
NP1104
9년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > 달리 분류되지 않는 분광분석장비
2017-08-29
88,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
10,000원
- 광학계 및 고해상도 분광기를 이용하여 외관 검사 및 광 특성 측정이 가능한 측정/검사 장비로써, 마이크로 LED
및 관련 소재와 관련 부품 개발등에 적용 가능한 전문 분석 장비임.
- 100 마이크로 이하 크기의 LED 칩의 발광 파장 및 세기 그리고 결함을 정확하고 빠르게 평가 가능함.
- 최대 4인치 정사각형 크기의 시료 측정 및 분석이 가능하며, 특히 마이크로 LED 응용 분야의 연구 지원 가능함.
- 마이크로 LED의 효율 및 불량 측정을 통한 마이크로 LED 픽셀형 디스플레이 검사뿐만 아니라 가시광, 통신, 의료용
디바이스를 구현하고자 할 때, LED 검사 및 신뢰성 분석과 기초 DB 확보 장비로 사용 가능
최대 4인치 크기의
○ Photoluminescence (PL) 광원
· 파장 : 405nm ± 5nm
· 빔 모드 : TEMoo
· 편광 성분 : Linear > 100:1
· 빔 특성 : < 5mrad and < 5μrad/K pointing stability
· 출력 안정성 : 1 % (10 hour)
· 파이버 레이저 : 싱글모드 파이버, 파이버 통과 후 50mW 출력
· 평행광 구성을 위한 레이저 플라즈마 필터 및 빔 확장기 내부 장착
○ 외관 검사 및 대면적 매핑을 위한 광원
· 외관 검사용 백색광원
· 대면적 매핑 분석용 발광 조명
· 모든 광원은 퀼러 조명 방식 적용
○ 분광계
· 분광 범위 : 400nm to 760nm
· 분광 해상도 : 0.36nm per CCD pixel (평균값)
· 분광 재현성 : < 0.5nm (평균값)
· 분광기 초점 거리 : 230mm
코마, 비점수차와 같은 모든 수차 보정된 전용 분광기
· 회절격자 사양: 300gr/mm
· 손쉽게 교환 가능한 회절격자 터렛으로 확장 가능함.
· 라만 분광기로 확장 가능함.
○ Charge Coupled Device (CCD)
· Front illuminated CCD. VIS optimized with anti-fringing
· CCD 픽셀 정보 : 1024 X 127 pixels (26 x 26um pixel size)
· CCD 칩 크기 : 25.6mm
· Quantum Efficiency(MAX) > 55%
· Dark noise: as low as 0.0004 e-/pixel/sec
· Read noise: as low as 4.0 e-RMS
· -50oC TE cooled
· Digitization : 16 bit
○ Motorized stage 특성
· 이동 가능 거리 : 100mm (x) × 100mm (y)
· 반복 정도 : < 0.2 um
· 해상도 : 0.01 um
· 직교성 : < 10 arcsec
· 모터 타입 : 2-phase 스테핑 모터
○ 일반 사양
· 측정 파장 범위 : 400nm to 760nm
· 외관 검사 및 광 특성 분석 기능에 따른 자동 선택 기능
· 모터 방식으로 선택 가능한 ND 필터를 이용한 광파워 조절 기능
· 모터방식 가변형 공초점 핀홀 : 30um to 1000um (10um 스텝)
· 광 차단을 위한 자동화된 셔터
· 전 자동화 시스템
· 공간 해상도
≤ 1um ( Confocal mode )
≤ 10um ( Ultra fast wide mapping mode )
· 측정 속도
≤ 7min ( 91mm(x) × 52mm(y), Ultra fast wide mapping mode ) with 10um resolution
≤ 1min ( 50um(x) × 50um(y), Confocal mode ) with 1um resolution
○ 자동화 시스템
· 모든 자동화 기능은 전용 소프트웨어 (EzMap)을 통해 구동되어야 함.
· 운용 프로그램(측정/매핑/구동/이미징 포함)은 하나의 통합된 프로그램으로 구성되며, 서로 다른 독립된 프로그램으로 구성되지 않음.
· 외관 검사 / PL 매핑 측정 선택시 자동 기능 전환 및 설정
· 고해상도 / 대면적 PL 매핑 선택시 백색광 차단 셔터 자동 개폐
· 샘플 로딩시 대물렌즈 자동 선택 (Auto-positioning) 및 자동 초점
( Auto-focusing) 기능
· 자동화 고해상도 / 대면적 PL 매핑 이미지
· 매핑 이미지 획득 후 발광 효율 자동 분석
○ 구동 소프트웨어(EzMap)는 장비의 기능운용/측정/데이터 획득/데이터 분석 및 결과 도출을 위하여 다음과 같은 기능이 포함되어야 함.
· 마이크로 LED 외관검사 및 광 특성 측정 장비의 구동
· 외관검사 / PL 매핑 기능 선택에 따른 필요 기능 자동 설정
· 고해상도 / 대면적 매핑 기능 선택
· 광원 선택 및 출력 조절
· Motorized stage 위치 수동 및 자동 조절 기능
· PL 매핑시 영역 설정, 속도, 노출시간, 광원 출력 설정
· 대물렌즈 자동 선택 및 자동 초점 기능
○ 검사/측정 내용
· 마이크로 LED 형상, 이물 검사
· 마이크로 LED R,G,B PL mapping, dead pixel, 발광효율 불량 검출
○ 데이타 저장 및 출력
· 시스템 설정 데이터는 ini 파일 확장자로 저장되어야 함
· 측정/검사의 설정 데이터는 ini 파일 확장자 형태로 저장되어야 하며, 불러오기를 통하여 동일한 설정을 적용한...