주식회사오엔에이치
습식 식각/세정 장치
5년
주장비
생산
전기·전자장비 > 반도체장비 >
2018-02-22
1,040,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
45,000원
기판 크기 370mmx470mm 2세대 기판으로 저가격/대면적 OLED 조명 제작을 위한 투명전극의 케미칼을 사용 선택적으로 식각하는 장치로서 기판의 균일한 투명전극 식각/기판의 이물질 세정/건조까지 이루어지는 시스템이다.
CASSTE : 다수의 패널을 적재하는 적재부와, 패널들의 출입 개구가 형성된 프레임을 갖고, 패널들의 개구를 개폐하는 블라인더와; 블라인더가 폐쇄위치 사이를 회동 가능하도록 상기 프레임에 결합된 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
LOADER DETAIL SPEC. : CASSETTE LOADING 후 낱장 GLASS로 다음 공정으로 이송시키는 UNIT
NEUTRAL - 1 CHAMBER DETAIL SPEC. : 이전 공정(LOADER)과 이후 공정을 구분하여 오염방지용 UNIT
ROLL BRUSH CHAMBER DETAIL SPEC. : GLASS와 BRUSH의 상호 마찰 작용에 의하여 기판(GLASS)의 부유성 PARTICLE을 제거하는 UNIT
KOH CHAMBER DETAIL SPEC. : GLASS표면의 개질개선을 위하여 약액을 사용하는 UNIT
RINSE-1 & BUBBLE JET-1 CHAMBER DETAIL SPEC. : GLASS 표면의 약액을 DI를 통해 세정하고, 고압 PUMP 및 BUBBLE JET(CDA,DI)를 통해 GLASS표면의 미세 PARTICLE을 제거하기 위한 UNIT
FINAL RINSE CHAMBER DETAIL SPEC. : GLASS 표면을 DI를 통해 최종으로 SHOWER해주는 UNIT
AIR KNIFE CHAMBER DETAIL SPEC. : GLASS 표면에 잔존하는 DI를 DUAL KNIFE(CDA)를 통해 물기를 제거하기 위한 UNIT
BUFFER + DIVERTER CHAMBER DETAIL SPEC. : GLASS를 투입/배출하기 위한 UNIT
NEUTRAL-2 CHAMBER DETAIL SPEC. : 이전 공정(BUFFER+DIVERTER)과 이후 공정(ETCHING)을 구분하여 약액이 넘어오지 않게 하기 위한 UNIT
ETCHING CHAMBER DETAIL SPEC. : GALSS(투명전극)을 ETCHING 하기 위한 UNIT
UNLOADER CHAMBER DETAIL SPEC. : 낱장 GLASS를 CASSETTE에 적재 후 이송시키는 UNIT