마이다스시스템
MDA-20000SA
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2018-02-22
405,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
30,000원
- 본 장비는 대면적 OLED 면광원 조명 제작용 패턴 형성 장비로서 PR Coating후 노광하는 장비로 2세대 대면적 기판인 370mm×470mm 크기의 OLED 시제품 제작에 필수적인 backplane 제조 장비
- OLED 조명의 전극 Pattern 형성 공정 중 노광 공정에 필수 적용되는 장비로서 ITO 박막 patterning, insulating layer 형성, cathode separator 제작 공정을 처리하는 장비
* 기본구성
- Manual loading& Unloading
- Manual Alignment mode
- Beam size : 600×600
- Sample size : 370×470 (glass)
- Auto leveling of mask and sample
- 5kW Mercury short arc lamp & Power supply
- Dual CCD zoom microscope
- Scope moving stage : Motorized Dual X,Y,Z
- Oil-less Vacuum Pump Include for set up Mask aligner Specifications