에스브이에스주식회사
TLX 500
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2018-03-26
751,800,000원
기관의뢰
고정형
건별
100,000원
감광액 도포기는 PHOTO PATTERNIG 장비로서 패턴 형성을 위한 감광액 도포, 경화 및 현상하는 장비입니다. AIR BARRIER 구조 방식 적용에 따른 외부 공기 유입감소를 통한 코팅을 균일하게 확보합니다. PR 공급전용 PUMP 설치로 일정 유량의 PR(3종류)를 공급합니다.
INDEX UNIT (GLASS 장착된 CASSETTE를 올려놓고 프로세스를 진행할 수 있는 장치)-2EA,
COATER UNIT (감광액을 GLASS 표면에 PR PUMP를 이용해서 분사후 회전을 시켜 균일하게 증착하는 장치)-1EA,
EBR UNIT (감광액을 GLASS에 균일하게 도포 후 가장자리에 감광액이 높게 형성되어진곳을 EBR(Edge Bead Removal) Nozzle을 좌우로 이동하면서 약액을 분사해 Particle 의 원인이 될 수있는 두꺼운 감광액 부분을 제거하는 장치) -1EA,
DEVELOPER UNIT (현상,사진 공정에서 감광액 도포 및 노광 후 필요한 패턴만을 남기고 불필요한 부분의 감광액을 제거하는 작업으로 현상액 노즐에서 약액을 분사하고 회전하면서 현상하는 장치)-1EA,
HMDS UNIT (Glass에 도포될 감광액과 Glass간에 접착력을 높이기 위해 HMDS(Hexa Methuyl DI Silazane)용액을 균일하게 도포하는 장치)-1EA,
HOT PLATE UNIT (PR 코팅후 Glass표면에 있는 솔벤트 성분을 제거하는 공정으로 Pre-bake, Hard-bake, Soft-bake을 사용할수 있는 장치) -1EA
COOL PLATE UNIT (Hot plate 공정후 열이 가해진 Glass를 타공정 진행 전 안정된 온도로 식혀주는 장치) -1EA,
TRANSFER ROBOT (Glass를 각 공정에 맞게 자동으로 움직여서 각 unit에 Glass를 이동시키면서 공정을 진행하는 장치)
-1EA로 구성되어 있습니다.