Innolas Solutions
ILS-LT
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 레이저발생장비
2018-01-18
519,116,842원
고정형
시간별
원
○ 본 장비는 결정질 실리콘 태양전지의 후면 패시베이션 층을 부분적으로 opening하는 레이저 장비임.
○ 시간당 100장 이상의 thoroughput을 가지며, line, dash, dot 등 다양한 형태의 패터닝이 가능함.
○ 레이저는 nanosecond laser이며, 파장은 1064nm임.
○ 장비의 주요 사양
- 나노세컨드 레이저, IR, 1064nm, 20W, 20 ~ 200kHz
- Throughput: 장당 30초 이내
- 안정적인 laser power 출력
- 기판 크기 200 mm * 200 mm 까지 가능
- Spot 크기: 최소 10 ~ 최대 100um 가변 가능
- Spot 간격: 약 20% overlap에서 1mm까지 조정 가능
- 가공 균일도: 크기와 간격에 대한 산포 5% 이내
○ 후면 패시베이션층의 부분적인 opening을 위한 레이저 장비로 실리콘 손상을 최소화한 공정 기술이 중요함.