주식회사에스이에이
SEAbatch Lab 25
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2017-12-28
391,800,000원
원
- 실리콘 웨이퍼 표면에 피라미드 형성을 통한 표면조직화 및 이를 위한 세정과 건조 기능을 포함하고 있는 장비임.
- 컴퓨터로 컨트롤되는 자동화 시스템 및 프로그램(그래픽 유저 인터페이스) 일체형임.
- Throughput : 연속공정시 시간당 100장 (25장/배치)
- 단결정 6인치 실리콘 태양전지용 웨이퍼(quasi-square) 사용을 위한 장비임.
- 공정 배스 구성은 아래와 같음
○ dKOH 1 ea
○ pSC1 1 ea
○ alkaline texturing 1 ea
○ acid cleaning 1 ea
○ alkaline cleaning 1 ea
○ rinse 5 ea
○ hot water dryer 1 ea
○ hot air dryer 1ea
- Loading 및 unloading
- Auto transport handling 시스템 (PVDF)
- Auto dosing 및 Feed & bleed 시스템