주식회사 제이앤엘테크
CarboZen-H1200
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
2017-09-11
621,000,000원
기관의뢰
고정형
기타
880,000원
DLC 코팅 장비는 진공 상태에서 부품 표면에 고경도, 저마찰의 탄소막(혹은 탄소 및 금속 막)을 코팅하는 장비로 장비 내부 벽면에 장착된 이온 건과 스퍼터 소스로부터 발생된 이온화 상태의 코팅 물질이 내부 턴테이블에 의해 공‧자전 중인 제품으로 이동, 표면에 부착됨으로써 고밀도의 코팅 박막을 형성함.
표면 플라즈마 세정에 가장 높은 효율을 갖는 선형 이온 건 소스의 장착, 이온 건, 스퍼터와 같은 PVD공정과 함께 장비 자체에 고전압 인가가 가능하여 PECVD 가능하며 작동순서는 장비 내부 피처리 제품의 장입 - 진공배기 및 공정 압력, 온도, 물질 형성 – 이온 건 및 스퍼터 소스를 활용한 플라즈마 표면처리 - 공정 완료 및 피처리 제품 취출 순
1. 유효 코팅 범위 (mm) : ɸ 700 X H 800
2. 코팅막의 균일도 (%) : ± 12
3. 코팅막의 경도 (GPa, Hv) : 25 GPa, (4730 Hv)
4. 코팅막의 밀착력 : 28 N 이상 (스크래치), HF2 이하 (HRC)
5. 코팅막의 마찰계수 : 0.1 이하
6. 사용 공정프로세스 : PECVD + PVD
7. 가능 성막(PECVD응용) : Si-DLC/ F-DLC/ DLC
8. 조도 (㎛) : Ra 0.2
9. 진공 펌프 : Rotary pump 1대, Booster pump 1대, Turbo molecular pump 1대
10. Power Supply (Kw) : Bias; 10 , Sputter; 12, Ion Gun; 12
11. 작동 가스 라인 : Ar, N2, O₂, C2H2, 추가 1라인
12. 히터 용량 : max. 21kW