Nordson March
AP-300
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 표면가공기
2017-11-28
70,500,000원
기관의뢰
고정형
건별
11,000원
1) Power Generator로부터 공급된 RF에너지를 제품(반도체 웨이퍼, Glass, PCB 등)의 표면에 에너지를 방사하여 그 표면의 에너지를 낮추어 접착력 향상을 목적으로 함.
2) 에너지를 전달하는 매체로는 용도에 따라 산소(O2), 질소(N2), 아르곤(Ar), 등의 가스를 사용하며 다독 또는 혼합해서 사용한다. Gas에 에너지가 공급되면 가스의 분자가 전자, 전공, 광자로 분리되며, Plasma 챔버안에는 활동성이 강한 래디칼 입자들로 채워짐
3) 래디칼 입자들이 제품 표면에 강한 힘으로 때려서 표면의 이물질 제거, 또는 표면 개질 효과 기대. 제품의 특성과 목적에 따라 적절한 Gas와 기능을 조합해서 사용하여 제품의 크리닝, 스퍼터링, 표면개질, 접착력 향상, 소독 등의 다양한 용도에 활용이 가능
1. 플라즈마 시스템 본체 (주장비)
2. 챔버
3. 전극
4. MFC
5. 제어부
6. RF 제네레이터
7. 진공 펌프
• 타치판넬 스크린 제어, 그래픽 유저인터페이스를 통한 실시간 공정 정보 제공
• PLC를 사용한 플라즈마 장비 제어 및 모니터링 시스템
• 특수 열가소성 판넬을 포함한 알루미늄 샤시
• 최대 7개의 전극형 선반(25.4mm 피치) 구조; 제품의 형태에 따라 전극을 변경 장착 할 수 있는 구조
• 특수 알루미늄 합금 챔버
• 챔버 도어에 위치한 투시창
• 핵심부품 챔버 일체형 제작
• 솔리드 스테이트 13.56Mhz 300W RF 제네레이터
• 자동 임피던스 매칭 네트웍
• 2 Mass Flow Contrallers (최대 4개 장착)
• RF bus에 연결된 파워 전극
• Ground bus에 연결된 그라운드 전극
• 플라즈마 모드: Direct and Downstream