주식회사 팀즈
와이드 플렉서블 패턴 프린터
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 프린팅장비
2017-07-31
357,500,000원
기관의뢰
고정형
시간별
50,000원
본 물품은 유연 디스플레이 등 다양한 형태의 전자부품에 전극 및 배선 형성용 전기 전도성 잉크와 소자 접합을 위한 열전도성 잉크 및 절연체와 광학 소재등의 비전도성 잉크를 와이드 패턴 및 미세 패턴을 프린팅하는 장비이다.
본 물품은 와이드 및 미세 패턴 토출헤드[1세트], 토출량 제어장치 [1세트], 기판 장착 및 고정 장치[1세트], 3축 정밀 이송 및 회전장치[1세트],정밀 정렬/검사/측정용 비젼 시스템[1세트], Z축 레이져 변위 측정장치[1세트], 장비 동작 제어장치[1세트], 장비 운영 pc 및 모니터[1세트]등 8가지 세트로 구성된다.
본 물품의 성능 기술은 아래와 같습니다. 기판 최대 장착 크기 : 400mm × 400mm 이상
- X, Y, Z 축 이송길이, 속도 및 회전각도
·X축, Y축, Z축 최대 이송길이 : (X축)400㎜, (Y축)400㎜, (Z축) 100㎜
·X축, Y축 최대/최소 이송속도 : 10mm/sec 이상, 200mm/sec 이하
·Z축 최대/최소 이송속도 : 10mm/sec 이상, 100mm/sec 이하
·최대회전각도 : 2°이상
- 검사용 비젼 배율 및 FOV
·상부 비젼 배율 및 FOV : 5배 이상, 수평 960μm × 수직 724.5μm
·측면 비젼 배율 및 FOV : 4배 이상, 수평 1198.8μm× 수직 913.9μm
- 정렬 정밀도 : ± 5㎛ 이하
- 최소 패턴폭/간격 : (폭)50μm, (간격)50μm
- 프린팅 패턴 위치 정밀도 : ± 5㎛ 이하
- 프린팅 패턴폭 정밀도 : ± 5㎛ 이하
- 프린팅 패턴높이 정밀도 : ± 5㎛ 이하 이상입니다.