주식회사 엘에이티
SPR-5006
1년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2017-11-30
70,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
20,000원
진공증착장치는 Ar 플라즈마를 이용하여 물리적인 방식의 박막증착장비로, 기판 상에 금속, 화합물 및 합금 계열의 박막을 증착하기 위한 고진공 증착시스템이다. 시스템은 Process chamber에 4인치 크기의 타겟을 장착하고 DC & RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 6인치 실리콘 웨이퍼 1장에 박막을 증착한다. 박막 증착 공정 중 히터를 이용하여 기판온도를 승온 할 수 있다. PLC 기반의 Control용 Touch Panel을 사용하여 System Operation이 용이하다.
진공증착장치는 챔버, 진공계, 가스공급장치, 파워 공급 장치로 기본 구성이 된다.
챔버는 Stainless steel 재질을 가지며 챔버 내부에서 플라즈마를 발생시켜 박막 증착을 진행하는 용기이다. 챔버 내부에는 6인치 웨이퍼를 공정할 수 있는 기판과 Z-Motion Up & Down Moving 장치, Sample Rotation이 5~20rpm 속도로 조정할 수 있는 장치, 최대 온도 600℃까지 승온 할 수 있는 히터를 Auto PID를 통하여 제어가 가능한 장치들이 포함된다.
진공계는 챔버의 진공을 유지하거나 표시하는 장치로 저진공 펌프인 로타리펌프, 고진공 펌프인 TMP, 진공게이지인 Pirani Gauge, Cold Cathode Gauge, Baratron Gauge들을 포함한다.
가스공급장치는 챔버 내부로 플라즈마를 발생시키기 위한 Ar 가스와 O2 가스의 양을 주입하기 위해 MFC가 각각 포함된다.
파워공급장치는 Cathode에 전원을 공급하는 장치로 RF Power 600W & Auto Matching Control Unit 2set와 DC Power 1KW & Noise Filter 1set을 포함한다.
진공증착장치는 최대 진공도, 박막 균일도, 온도 균일도, 최대온도 등의 성능이 있다.
최대 진공도는 24시간 이내에 ≤1X10-6 Torr 이다.
박막 균일도는 3000Å로 증착된 박막에서 ≤ ±5% 이다.
온도 균일도는 500℃ ≤ ±5%이며, 최대 온도는 600℃ 이다.