린세이스
TFA
5년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 재료물성시험장비 > 달리 분류되지 않는 재료물성시험장비
2017-10-27
184,600,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
기타
25,000원
이 장비는 5nm에서 20um이하의 두께를 가지는 박막형 플렉서블 열전소재를 표면의 거칠기와 관계없이 면방향의 열전도도, 제백계수, 전기비저항, ZT 값 등을 평가하는 장비로 전기장을 선택부품 (option item)으로 사용하면서 홀상수 (Hall contstant), 이동도 (Mobility), 그리고 전하 운반자 농도 (Charge Carrier Concentration) 결정을 위해 격상이 가능한 장비다.
물품 구성은, 본체부와 가열로, 진공제어부, 제어부 그리고 운용소프트웨어로 구성되어진다. 성능은 가열로의 경우 측정온도 범위는 상온~300℃, 온도정확도는 ±1.5℃, 온도정밀도는 ±1.0℃이며 승온속도는 0.01℃~20℃/min이다.
시편은 집적회로 (Chip)에 증착하여 넓이 25mm2, 두께 100nm~30um의 박막형태로 측정한다.
측정범위는 전기비저항 (0ohm~100Mohm), 제백계수 (0uv/k~250mv/k), 열전도도 (금속: 0W/mk~ 120W/mk, 세라믹: 0W/mk~2w/mk, 유기고분자 (0W/mk~0.2w/mk)이다.