주식회사 나노시스템
NV-3200
10년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 달리 분류되지 않는 표면특성측정장비
2017-10-26
190,860,520원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
70,000원
비접촉식 백색광주사간섭계 WSI(White Light Interferometry) 기술을 이용, 높은 분해능(0.1nm)의 빠른 속도(2초)로 표면을 측정함. 비접촉식으로 2D 및 3D 형태로 측정결과를 볼 수 있음
vertical scan speed : 2.4um/s~12um/sec
max workpiece height <100mm
x/y axis resolution: 0.1um
x/y stage stroke <300mm
z axis resolution: 0.1um