Nanoscribe
Photonic Professional GT
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2017-12-05
679,706,330원
고정형
시간별
259,000원
본 장비는 레이저 광원의 간섭효과를 이용하여 넓은 영역에 3D 마이크로 구조물을 패터닝하는 장비로서 액체상태의 photoresist를 레이저를 이용하여 고형화시키는 원리를 가진 장비이다.
1. Femtosecond fiber laser pulse length (120 fs Average Power) 120mW
2. 출력크기 10 x 10 x 10mm 이내
3. x-y해상도: <0.5um, z해상도: <1um