주식회사에이피피
IDP-1500
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
2018-01-24
96,030,000원
기관의뢰
고정형
시간별
35,000원
* 물품 설명
대기에서는 존재 할 수 없는 플라즈마 상태를 특수한 가스와 전기적 장치, 전극을 사용하여, 플라즈마를 발생하는 장비 입니다. 발생된 플라즈마를 표면에 처리하여, 표면의 유기물을 제거하고, 표면에 다양한 관능기과 코팅을 구현할 수 있습니다. 표면의 유기물은 수세정으로도 제거 되지 않으며, 플라즈마를 통해서 표면을 개질 할 수 있습니다.
본 장비는 상압 플라즈마 증착 방식으로 다양한 반응 기체의 선택적 적용을 통해 발수 및 방오 처리와 같은 다양한 표면 개질이 가능합니다. 상압 플라즈마 증착은 진공 조건 없이 수초 이내에 표면 개질이 가능한 방식으로 Ar, He, CxFy, CH4, O2 등의 다채널 가스 유량 제어와 플라즈마 생성 및 유지를 위한 제어시스템이 필수적입니다. 균일한 막코팅(소수성, 접촉각 50도 이상)과 표면 개질(접초각 수준 10도 이하)의 결과를 위해서는, 알곤(헬륨) 대기압 플라즈마 방전 기술, 파워 제어 기술, 가스 정량 제어 기술이 전제 되어야 합니다. 알곤(헬륨) 플라즈마를 방전 하여, 다양한 가스를 반응 가스로 사용 하게 됩니다. 이 때 반응 가스의 비율을 0.5% 이하 수준으로 유지하여, 방전 상태에 영향을 미치지 않게 해야 합니다. 각 구성에 대한 설명은 하기 카테고리 참조 부탁 드립니다. 특히, IDP-1500 모델은 가스 코팅과 별도로 HMDS(증착용 가스) 버블링 장치와 온도 조절 스테이지를 통해, 코팅막질의 경도와 투과성을 높일 수 있습니다.
* 물품의 구성 및 성능
1) 플라즈마 발생 부
- 150mm 전극 : 알곤/헬륨을 플라즈마화 하는 기능, 당사 특수/특허 구조(전력과 가스 정량 공급)
- 증착가스는 전극에 코팅을 야기 하므로, 정기적인 클리닝(사용 후) 알곤/산소 방전이 필수입니다.
- 헤드 및 가스 플로우 plate 분해 조립의 편이성을 위해 전극 로테이팅 회전이 가능합니다.
2) 플라즈마 파워 부 : 13.56Mhz, 600W 급
- 알곤과 헬륨 및 특수 가스를 플라즈마화 하기 위하여, 고주파 13.56Mhz 전력을 발생하여, 전극에 전달합니다.
- 메칭 되지 않을 경우 메칭의 정보를 전달 받아 즉각, 알람 발생의 기능과 전력을 차단하여, 전극에 손상을 방지 합니다.
- 임피던스 메쳐를 통해 전극에 전력을 전달합니다. 높은 파워 400W 이상, 저파워 100W 미만에서도 메칭을 통해 90% 이상의 전력을 전달 합니다.
3) 구동부위
- linear scale 을 통해 정량 정속(100mm/s 최대) 제어하여 표면 개질(세정, 코팅) 의 균일성을 제공합니다.
- Stage 의 시작점 / 종점 메모리 기능