BRUKER NANO INC.
Contour GT-I
10년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2017-05-18
196,900,000원
기관의뢰
고정형
시간별
37,780원
본 측정 시스템은 비접촉식 3D 표면형상측정기로 간섭계 렌즈의 원리를 사용하여 빛이 샘플에서 반사되는 파장과 반사거울에서 반사되는 파장을 카메라로 찍어 30년간 축척 된 기술로 다양하고 정교한 알고리즘 분석으로 수 나노에서 10mm의 범위에서 표면에 대한 다양한 정보를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 시스템은 자동화 된 기능의 스테이지가 X와 Y로 Sample을 움직일 수 있으며 스테이지를 틸트하지 않고 팁 / 틸트기능으로 보고자 하는 포인트에 대한 조정이 별도로 필요하지 않습니다. 또한 높이를 측정할 수 있는 정교한 Z축의 모터가 포함되어 있습니다. 배율을 간편하게 선택하실 수 있게 간섭렌즈가 터렛타입 으로 구성되어 있고 확대 렌즈 또한 버튼 한번 클릭으로 3가지 배율을 간편하게 선택할 수 있습니다. 이러한 자동화된 기능을 활용하여 여러 고 배율의 3D image 정보를 수십~수천장 빠르게 자동으로 측정하여 큰 하나의 3D image를 만들 수 있음.
- 가공된 표면의 형상과 거칠기를 측정하기 위 하여 0.01nm의 분해능을 가진 비접촉식 광학 방식의 측정기.
- 다양한 샘플을 측정하기 위해 빛 반사도에 제한을 받지 않는 범위인 샘플 반사율이 0.3% - 100% 의 범위를 측정 할수 있음.
- 기울기 보정시 더욱 정교한 측정을 위해 측정 타깃이 변하지 않는 자동으로 +/- 5도 범위의 헤드 틸트 기능이 포함됨.
- 다양한 배율로 측정하기 위하여 5개 대물렌즈 사용을 위한 터렛 포함.
- 6인치(직경150mm이상)의 시료를 측정하기 위한 자동 스테이지 포함