주식회사 어코랩
SAM-DENEB
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2017-08-08
187,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
36,430원
(주)어코랩 Scanning Acoustic Microscope;SAM-DENEB는 고속 디지털 초음파 스캐닝 장비 입니다. 비파괴초음파 검사장비로서 반도체 및 산업용 부품 등의 내부불연속을 찾기 적합한 장비입니다. SAM-DENEB는 고해상도 이미지, 고속 스캔 및 다양한 메뉴를 제공합니다.
컴퓨터를 이용한 SAM(Scanning Acoustic Microscope) 장치는 초음파 펄서/리시버, 고속 A/D Converter, Motion Controller가 컴퓨터 내부에 포함되고 초음파 탐촉자를 이송 시키는 기계 장치인 Scanner 및 Motor, Motor Driver 등이 외부장치로 구성된다. 또한, SAM 장치에는 이들 하드웨어를 동시에 제어하면서 초음파 신호를 수집하는 제어 계측용 Program이 중요한 역할을 하게 되며, 일반적으로 이러한 프로그램에서는 A-Scan, B-Scan, C-Scan 등을 표시하는 기능과 Digital Signal Processing, Image Processing 기능이 포함된다.
<장비사양>
1. 탐상기 본체 사양
(1)외형 치수 -Total System Size(가로x세로x높이) : 1020 x 1050 x 1360(mm)
(2) 중량(total): 약400kg
(3)주파수 대역: 1 ~ 500MHz
(4)증폭비: 0dB ~ 63dB (1dB Step)
(5) Pulser
-Pulser 출력(V): 100V ~ 250V (2V Step)
-Pulser Width(nsec): 2nsec ~ 71.75nsec (0.4nsec Step)
-Rep. Rate : 200Hz ~ 20kHz (100Hz, 1kHz Step)
-Pulse Echo / Pitch Catch Mode
(6) Noise Filter : High Pass Filter : 1MHz ~ 20MHz (1MHz Step) / Low Pass Filter : 20MHz ~ 150MHz (1MHz Step)
(7) A/D Converter
- Max. Sampling Rate : 1GHz
- Memory : 128Kbytes
- Data Transfer Rate : 132Mbytes/sec
- Resolution : 8Bits
2. 구동장치(Scanner)
(1) Motor 구동축 수 : 3축
- X축 : Linear Motor with linear encoder (resolution 0.5㎛) - Y/Z축 : Stepping Motor
(2) 수조 용량 : 590 x 870 x 120mm -재질 : SUS
(3) Scan Stroke : X, Y, Z축 (Actual Scanning Area : 500 x 500mm)
(4) Scan Speed : Max. 750mm/s (Min. Resolution 0.1mm)
(5) Resolution : 0.001mm
(6) 반복정밀도 : ±0.002mm(X-Axis)
3. System Control PC
(1) O/S : 한글 Windows 7 Service Pack 1.0
(2) Industrial Computer
(3) Monitor : 27” Color LED
<기능>
1. Hardware
(1) 데이터 수집 속도 : max. 10,000 points/sec
(2) Scanning Speed : max. 750mm/sec
(3) Mechanical Resolution : Min.0.001mm
(4) Real Time A, B, C Scan, FFT Function
(5) 하이파워 초음파 펄서/리시버 (Max.250V, 1-500MHz, Precision Low Pass & High Pass Filter)
(6) High Speed PCI Type 1GHz, 8Bits Analog to Digital Converter Board
(7) Servo & Stepping Motor 겸용 4-Axis Motion Controller
2. software
(1) OS : 한글 Windows 7
(2) 검사용 Program : 고객 요구에 의한 맞춤형 Program 지원
(3) 3-Axis Mechanical Scanner 지원, Servo 및 Stepping Motor 지원(X, Y, Z), 다양한 기계장치에 적용 가능
(4) 반도체 검사용으로 개발된 제품 특징상 고정밀, 고속으로 동작되며 음향 임피던스 변화에 따른 초음파 위상 검출기능, 검사체 전체 체적을 한 번의 스케닝으로 검사할 수 있는 Multi-Layer 스캔 등의 다양한 기능을 보유.
(5) 6개의 다양한 Gate : ScanUp 프로그램에는 아래의 그림과 같이 6개의 Gate를 사용할 수 있으며, A, B, C 3개의 Analysis Gate와 1개의 Multi-Layer Gate, Interface Gate, FFT Gate가 있다.
(6) 탐촉자의 주파수 특성을 위한 FFT (Fast Fourier Transform)
FFT(Fast Fourier Transform)-Gate를 설정하면 위의 그림과 같이 2048개의 시간영역 데이터를 주파수영역으로 변환시켜 FFT Window 상에 계산된 FFT 결과를 표시하고, 이때 X축은 주파수(MHz), Y축은 진폭(%)을 표시하고 계산된 Peak-Frequency 및 Center-Frequency 가 화면에 표시된다. 현재 사용하는 탐촉자의 실제 주파수를 알 수 있으며, 특히 고주파수 탐촉자(50MHz 이상)의 경우 매질 전파시 높은 주파수 대역에서 감쇠가 크게 발생되어 실제 검사 영역에서의 유효 주파수를 알 수 있다. 또한, 탐촉자의 경년 열화에 따른 주파수 특성변화를 알 수 있다.
(7) Virtual 3D
(8) 자동 결함 면적 측정기능
(9) Software 기능
- High Speed Ultrasonic Data Acquisition Program for Windows 7
- Real time A, B, C scan display, spectrum analysis(FFT), multi layer ...