(주) 펨토사이언스
Lavida1000
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
2018-01-24
151,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
33,000원
본 장치는 크게 1 .기화기 열분해기 2. 증착챔버 3. 임피던드 모듈 4.진공모듈 및 냉각트랩 5. 회전지그판 6. 컨트롤 시스템으로 구성되어 있는 패릴렌 증착을 위한 장비 이다.
고절연, 방수특성, 내화학성, 투명성의 특징을 갖는 박박의 특성을 얻을 수 있는 코팅을 하기 위한 장비이다. 또한 재료에 따라 기능기를 도입할 수 있으며 실시간으로 증착되는 막 두께를 측정할 수 있다.
1) 방수처리장치
○ 기화기 (Vaporizer)
- 기화기 온도 조정 범위 : 상온 ~ 300℃ [온도조정 단위 : 1 ℃]
- 기화기 도어 온도 조정 범위 : 상온 ~ 200 ℃ [온도조정 단위 : 1 ℃]
- 기화기 온도 측정 위치 : 2 x positions
- 온도 측정 센서 : 4선식 백금 센서 (x 2 ea)
- 다이머 로딩 용량 : Max. 750g
- 온도 및 유지시간 설정 : 최대 10-step 설정
- 히터 피드백 : 진공게이지의 압력, 냉각트랩의 온도 외
○ 열분해기 (Pyrolizer)
- 온도 조정 범위 : 상온 ~ 900℃ [온도조정 단위 : 1 ℃]
- 가열 영역 : 3 영역으로 구분
- 히터 구성 : 3개의 히터로 독립적 구동
- 온도 측정 센서 : 4선식 백금센서 (x 3 ea)
- 노관 (Furnace Tube) 재질 : 고순도 쿼츠
○ 증착챔버 (Dep. Chamber)
- 챔버형식 : 수직형 챔버
- 챔버 크기 : I.D. ≥ 930mm, Height ≥ 1,180mm
- 챔버 도어 : 정면, 수동개폐
- 피착물 회전 지그 및 피착물 운송판
- 유효증착 영역 산출
a. 피착물 크기 : 최대 Dia. 610mm
b. 피착물 운송판 : 증착 균일도 확보를 위한 전 방향 15%의 여유 (= 790mm)
c. 챔버 내경 : 전 방향으로 추가 10% 여유 (Dia. 950mm)
d. 17“ x 17” 피착물 지그 (혹은 피착물 운송판) 포함
- 임피던스 측정을 위한 진공 피드쓰루 (feed-through) : 2 x position
- 프로그램 가능한 회전 : 자유회전, 주기적 회전
a. 조정요소 : 회전각도, 회전속도, 회전방향, 회전시간
b. 자동모드 : 공정 레시피에 따른 자동운전
○ 컨트롤 시스템 (Control System)
- 주 컨트롤러
a. 서브 컨트롤러와 인터페이스
b. 터치PC와의 인터페이스
c. 24 x Input & 24 x Output port
d. 20 x A/D, 16 bit Resolution
e. 20 x D/A, 16 bit Resolution
f. 감시용 LEDs
- 서브 컨트롤러 (부 컨트롤러)
a. 모터 컨트롤러
b. 진공측정, 설정 컨트롤러
c. 히터 컨트롤러
d. 센서 인터페이스 보드
- 터치 PC
a. 수량 : 3 x PC (’Win CE based touch PC)
b. PC 1 : 운전 (운전, 레시피 관리, 공정요소 설정 외)
c. PC 2 : 실시간 공정 검사 (그래프지원, 막 두께 및 절연성 평가 외)
d. PC 3 :실시간 장비 상태 검사 (Signal Distribution Unit 이용)
○ 챔버 세정모듈 (Depo. Chamber Cleaning Module)
- UV 조사 모듈
a. Dual-UV 조사 유닛 (고 수명, 오존프리 UV lamp)
b. UV lamp 수 : 2 x lamps
c. 조사 창 온도 : Max. 68℃
d. 방수, 방진 등급 : IP67