JEOL Ltd.
JSM7200F
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 광학현미경
2017-05-29
888,372,360원
기관의뢰
고정형
시간별
100,000원
실시간 전계 방사 주사형 전자현미경(In-situ FE-SEM)은 일반 광학 현미경으로는 관측이 어려운 물질의 미세영역을 고분해, 고배율(최대배율 10배에서 100만배까지)로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다.
전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료 표면의 관찰영역을 주사하고 이 때 시료 표면에서 발생되는 여러 전자형태를 각종 검출기로 감지하여, 브라운관의 밝기로 변조시켜, 시료의 표면 형태 및 조성에 대한 각각의 영상을 얻어 출력할 수 있다.
전자빔을 방출 집속하는 전자 광학계, 시료실, 각종 검출기, 조작 테이블, 관찰 CRT 및 출력 장치 등 여러 부품으로 이루어져 있다.
❍ In-Situ System - 1set
1) 실시간 인장/압축/굽힘 변형 관측기능
- 최대 하중: 2KN
- 변형속도: 0.033mm/min to 0.4mm/min
- 최대 시편 크기 : 29 x 27 x 5 (L,B,H mm)
- 실시간 하중/변형 곡선 측정 (응력/변형율 곡선)
- 3&4 point bending clamp 지원
2) 실시간 고온실험 기능
- 온도 범위 : 상온 ~ 1050℃
3) 실시간 EBSD 측정 기능
- 70 deg. 로테이션 그립 지원
❍ FE-SEM
1) 가속전압 : 0.5 – 30KV
2) 배율 : 10 – 1,000,000 배
3) 분해능 : 1.0nm at 20KV / 1.6nm at 1KV
❍ 부속기기
1) Energy disperse X-ray analyzer (EDS)
- Energy resolution: < 127 eV at 20,000 cps
2) Electron Backscatter Diffraction Analysis System (EBSD)
- Angular resolution: 0.05 deg.
3) Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer (WDS)
- Diffraction Crystals(LiF(200), PET, TAP, LSM60, LSM200, LSM)