파크시스템즈
XE7
5년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2017-04-11
60,400,000원
직접사용
고정형
시간별
30,000원
가. 원자간력현미경은 마이크로머시닝(Micromachining)으로 제작된 극히 미세한 탐침을 시료표면 가
까이 가져 갔을 때 생기는 원자간의 상호 작용력을 측정함으로써 나노미터크기 이하의 미세한
시료표면의 3차원적 형상을 알아내는 장치로써 일반 대기중에서 시료표면의 전처리 과정 없이,
즉, 도체, 반도체 및 부도체에 상관없이 시료표면의 폭, 높이, 각도, 거칠기 등 3차원적 정보를
얻을 수 있으며, 액체 내에서도 측정이 가능하며 또한 시료의 표면 온도분포, 전기적, 자기적
(磁氣的), 기계적, 물리적 특성 및 물질 상호 반응 현상 등을 측정 할 수 있습니다.
1) 하드웨어적인 Closed-loop Feedback 제어로 왜곡현상 없는 이미지 화상 도출
2) 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호간섭 배제
3) 고속구동 가능한 수직(Z) 스캐너 ( 최대 주파수 : 3 kHz )
- 튜브 스캐너 대비 약 3 ~ 5 배 속도
- True Non-Contact Mode 측정 가능
* Tapping Mode로는 측정할 수 없는 Soft 샘플 등 측정 가능
4) 수직(Z) 스캐너 축에 일치된 광학 현미경
- 측정 위치 찾기 / 위치 이동에 편리
5) 측정 기능 :
Contact AFM, DFM, True Non-contact AFM, LFM, Phase Imaging, Force vs.
Distance curve.